沧州昌汇封头制造有限公司
2013-12-12 09:26:29
三氯氢硅的用途和制法 用途 多晶硅、单晶硅原料、外延成长、硅液、硅油、化学气相淀积、硅酮化合物制造、电子气。
制法⑴在高温下Si和HCl反应 ⑵用氢还原四氯化硅（采用含铝化合物的催化剂） ⑶用氢、硅粉、四氯化硅反应
