平底封头介绍三氯硅的用途和制法
2013-11-29 09:21:23
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三氯氢硅的用途和制法
用途多晶硅、单晶硅原料、外延成长、硅液、硅油、化学气相淀积、硅酮化合物制造、电子气。
制法⑴在高温下Si和HCl反应
⑵用氢还原四氯化硅（采用含铝化合物的催化剂）
⑶用氢、硅粉、四氯化硅反应。
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