国内台自动龙门式12英寸砂轮滑片机通过鉴定
2013-08-11 16:19:38
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中国机械工业集团公司（简称国机集团）所属沈阳仪表院2013年5月31日发布消息称，公司 “12英寸IC芯片划片工艺装备研制”通过了沈阳市科技局科技成果鉴定。 项目研制出了国内台全自动、龙门式12英吋砂轮划片机。高累积步进精度可达2μm/310mm，主轴高转速41000r/min。申请发明3项以上，实用新型4项以上，取得了一批具有自主知识产权的研究成果，填补了国内空白，整体技术水平达到水平，形成了相应技术规范和标准。项目的成功为提升我国IC（集成电路）装备的技术水平档次、提高市场的竞争力和市场占有率，满足我国IC装备需求将起到重要的推进作用
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